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太和气体(荆州)有限公司致力攻坚电子特气“卡脖子”技术实现突破——
新项目订单排至2年后

    □驻荆州经开区记者王大玲

    7月15日下午,烈日当空、热浪袭人。在太和气体(荆州)有限公司乙硼烷新生产线车间,公司总经理汪正宏头戴安全帽,不顾满头大汗,正认真检查管道、反应釜等设备。按照计划,这个新车间将于8月初正式投产,而企业订单早已排到2年后。

    近年来,太和气体通过发展新项目、新技术、新工艺,不断解决国内半导体关键材料——电子特气“卡脖子”问题,助力产业发展。目前,公司产品已进入台积电、三星电子、京东方、中芯国际等国际知名半导体用户供应链。

    新生产线试生产通过专家评审

    电子特气是电子工业的“血液”。

    在半导体制程中,从芯片制造到最后器件的封装,几乎每一个环节都离不开电子特气。如果质量不合格,轻则导致芯片严重缺陷,重则导致整条生产线被污染乃至全面瘫痪。

    太和气体克服乙硼烷合成工艺技术、纯化技术、分析检测技术及储运技术等方面困难,对乙硼烷生产集成关键技术进行攻关,取得了重大技术突破,可为国内5G和存储芯片制造提供国产乙硼烷电子特气。

    今年年初,该公司抓住国内外存储芯片市场需求大幅增长及工艺技术快速迭代、更新的有利时机,投资2.15亿元新建年产33吨半导体特种气体项目,其中就包括年产3吨乙硼烷生产线。

    “乙硼烷是公司此前研发、已生产的产品,订单形势非常好。”汪正宏介绍,今年上半年公司乙硼烷销量同比增长150%。

    新项目还未投产,订单早已排到2年后。待新项目投产达效后,该公司年销售收入可增加2亿元,今年年产值可达1.7亿元,同去年相比足足翻一番。

    汪正宏介绍,目前,年产3吨乙硼烷生产线的试生产已顺利通过市应急管理部门组织的专家评审。待实现量产后,产品在满足长江储存、长鑫存储等国内半导体龙头企业需求的基础上,还将批量出口至韩国、东南亚等海外市场。

    多个产品填补国内生产空白

    除乙硼烷新生产线外,该公司年产300吨的溴化氢半导体特种气体项目也将于下月同步投产。

    汪正宏介绍,前些年我国电子特气国产化率总体较低,但在国家鼓励关键战略材料供应链自主可控和市场需求的双重推动下,公司抢抓机遇,增长趋势明显。

    目前,该公司已拥有10余种电子特气产品核心工艺技术、20余项电子特气技术专利,电子特气生产工艺和产品质量达到国际先进水平,多个产品填补国内生产空白,替代进口。

    今明两年,公司计划投资5亿元用于新厂区项目建设,将分批新建年产430吨半导体特种气体和年产2407吨半导体特种气体项目,共计新增17个产品,其中大部分产品为国内首次生产。这些产品不仅可以扩大核心拳头产品产能,还将丰富公司在行业领域的产业布局。

    “预计项目全部建成达产后,公司一年将新增销售收入8亿元。”汪正宏对于未来信心满满。

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