□ 记者 王大玲
打破金刚石功能材料被国外垄断难题,率先在国内布局第四代半导体材料装备和生长工艺研发……今年2月投产的湖北瑞华科技有限公司,通过切割、雕琢等方式,将生长后的金刚石制作成钻石、散热片等产品,进入半导体等不同领域的市场,成为半导体基体材料中的“新贵”。
近日,记者走进瑞华科技的切割车间,数台自动化切割机正在并排作业。
“在进行MPCVD(气相沉积)时,金刚石就像蒸馒头一样,逐渐变大,我们再运用先进的激光切割技术,赋予它不同的应用方向。”车间主任甘俊伟介绍,“膨胀”后的金刚石,在切割机的精细操作下,衬底与生长层被巧妙分离,生长层既可以被雕琢成熠熠生辉的钻石,也可以被切成薄片,用做高效的散热片,分离出来的衬底可以再次用于MPCVD的生长,循环利用。
瑞华科技于2022年落户荆州经开区,是一家聚焦高端功能金刚石材料生产的高科技企业,主要开展MPCVD设备迭代更新以及MPCVD设备的金刚石圆片等新材料关键技术与产业化研究,致力于在大尺寸、高质量金刚石生长装备及金刚石生长技术上取得重大突破,解决我国在这一领域的技术难题。
今年2月,一期项目进入试生产阶段,首批50台机器主要生产散热片、钻石等产品。
“钻石就是我们在市面上看到的裸钻,散热片主要运用于集成电路,在汽车等行业中发挥着不可或缺的作用。”甘俊伟说,随着电路集成度不断提升,散热需求也日益增长,与传统散热材料相比,金刚石散热能力更强,是铜的5倍。
为打破金刚石功能材料被国外垄断的难题,推进我国高端金刚石的深度产业化应用,公司总部于数年前率先在国内布局第四代半导体材料装备和生长工艺研发。
先进的研发实力是企业的发展底气。
瑞华科技办公室主任毛莉介绍,公司研发中心位于武汉,得到了相关院士等高端人才技术支持,是国内唯一成功研制分子束外延(MBE)和国内首 台 金属 有 机化学气相沉积(MOCVD)两种半导体材料生长装备与相关工艺的技术团队。
“天然金刚石材料成本较高,我们正加大研发力度,优化生产工艺,用MPCVD法生产出来的金刚石来替代天然金刚石。”毛莉介绍,公司正积极与相关研究所、知名新能源汽车品牌合作,加快金刚石散热片新材料的应用进程。